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半導體晶圓冷卻裝置維護保養要細節

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環境測試模擬。半導體晶圓冷卻裝置維護保養要細節

  • 產品型號:AES-4535
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-01-07
  • 訪  問  量:2271
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風冷式
價格區間5萬-10萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,電子,航天,制藥,汽車

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統壓力顯示制冷系統壓力采用指針式壓力表實現(高壓、低壓)
循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協議以太網接口TCP/IP協議
設備內部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機法國泰康/艾默生
蒸發器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數據導出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風機采用德國EBM軸流風機
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
溫度擴展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>


半導體晶圓冷卻裝置維護保養要細節

半導體晶圓冷卻裝置維護保養要細節

  半導體晶圓冷卻裝置在長時間的使用過程中,也需要對半導體晶圓冷卻裝置進行必要的檢查和維護保養,定期維護有利于半導體晶圓冷卻裝置制冷效率,同時也有利于延長壽命。

  1、檢查并且校正半導體晶圓冷卻裝置溫控器,確保溫控器正常顯示。

  2、檢查半導體晶圓冷卻裝置的冷媒量,如果不夠,需要及時補充冷媒。

  3、對半導體晶圓冷卻裝置的整個電控系統、主機電路系統做一次徹查,確保正常。

  4、試機運行并進行總校正,測試過熱度是否正常,各個部件有無異常聲音等。

  5、清洗半導體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發器,如果水質不是太差的話,建議累積運行半年清洗一次。半導體晶圓冷卻裝置在長時間運行當中,會有很多水雜質產生,會影響制冷效果以及使用壽命等。

  6、檢查冷凍油及潤滑油系統,如有污染建議對其進行更換,以利壓縮機更加自如的運轉。

  7、對半導體晶圓冷卻裝置壓縮機馬達線圈進行測試。

  8、檢查并且校正半導體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關,確定高、低壓壓力在正常范圍內。

9、檢查干燥過濾器是否正常,有沒有堵塞,必要時應予以更換全新的干燥過濾器。

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